Dünnschichttechnik

Die PVD-Beschichtung (Physical Vapour Deposition) von Bauteilen und Werkzeugen ist eine „heiße" Angelegenheit - immerhin liegen die üblichen Temperaturen dabei meist über 200 - 400°. Die lasergestützte PLD-Technik (Pulsed Laser Deposition) kommt mit vergleichsweise „kühlen" 20 - 50° aus und eignet sich daher besonders gut für die Beschichtung von temperaturempfindlichen Materialien.
Der Schutz von Oberflächen gegen äußere Einwirkungen wie Verschleiß und Korrosion sowie funktionale sensorische und optische Eigenschaften von Oberflächen, gewinnen in jüngster Zeit zunehmend an Bedeutung. Vor allem Beschichtungen mit Dicken im - bis Nanometer- Mikrometerbereich zeigen ein bisher unbekanntes Eigenschaftspotenzial für innovative Anwendungen von der Weltraumtechnik über die Medizintechnik und den Rennsport bis zum Maschinen- und Werkzeugbau.
Derartige Schichtsysteme erfordern neue Herstelltechnologien, wie die „Pulsed Laser Deposition“ (PLD), ein Verfahren aus der Gruppe der physikalischen Gasphasen-Beschichtungsverfahren („Physical Vapour Deposition“, PVD), das als industrielles Beschichtungsverfahren am Laserzentrum Leoben der JOANNEUM RESEARCH Forschungsgesellschaft mbH (Österreich) entwickelt wurde. Durch Integration der Magnetron-Kathodenzerstäubung (Sputtern) und der Ionenstrahlbeschichtung konnte ein Hybrid-Beschichtungsprozess (HybridPLD) verwirklicht werden, dessen Anwendung die optimale Schichthaftung von bei Raumtemperatur mittels PLD abgeschiedenen Schichten erstmals auch für gesputterte Schichten erreichen lässt, und der damit eine großflächige Hochrate-Beschichtung von Kunststoffen erlaubt.


