Mikro- und Nanostrukturierung

Wir entwickeln innovative Strukturierungsverfahren mit dem Potenzial zur großflächigen Fertigung biegsamer mikro- und nanostrukturierter Schichten oder vollintegrierter Komponenten in der organischen Elektronik, der Verpackungstechnologie, der Lichttechnik und Optoelektronik, der Medizintechnik oder der chemischen, physikalischen und biologischen Sensorik (Systems in foil, gedruckte Elektronik).

  • Großflächige, rollenbasierte Verfahren
    zur Mikro- und Nanostrukturierung folienbasierter Materialien

  • Nanoimprintlithographie
    zur nichtseriellen Herstellung funktioneller Strukturen im Nanometerbereich mittels Prägetechnik

  • Ultrakurzpuls-Lasertechniken
    zur maskenlosen hochauflösenden 3D-Strukturierung mittels Zwei-Photonen-Absorption sowie zur lokalisierten Abtragung (Laserablation) von Schichten

  • Elektronenstrahllithographie
    zur hochauflösenden Fertigung von Prägewerkzeugen

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