Haftungssteigerung von PVD-Beschichtungen durch Plasmabehandlung mit gitterlosen Veeco Anode-Layer-Source-Ionenquellen

Der Vorbehandlung von Oberflächen kommt entscheidende Bedeutung zur Steigerung der Haftfestigkeit von anschließend mit Vakuumbeschichtungsverfahren abgeschiedenen tribologischen, dekorativen, sensorischen, biokompatiblen, etc. Beschichtungen zu. Die derzeit industriell eingesetzten Technologien (meist Glimmentladungen) haben den Nachteil, dass temperaturempfindliche und nicht-elektrisch leitfähige Substrate mit diesen kaum aktiviert werden können. Gitterlose Plasma- bzw. Ionenquellen – wie die in der Arbeit verwendete lineare Anode-Layer-Source-Ionenquelle – stellen eine Alternative dar, da sie neben einerseits verhältnismäßig geringen Anschaffungskosten eine einfache Aufskalierbarkeit auf jegliche industrielle Bedürfnisse erlauben. Die deutliche Steigerung der Haftfestigkeit durch Behandlung mittels einer Anode-Layer-Source und die Einflüsse der Ionenenergien und Behandlungszeit wird in dieser Arbeit für Titannitridschichten gezeigt, welche bei Raumtemperatur in der Hybridbeschichtungsanlage des Laserzentrums Leoben durch DC-Magnetronsputtern auf Stählen (DIN 1.4301, 1.2379) hergestellt wurden.