Hybrid-PLD-Pulslaser-Hybridbeschichtung im industriellen Maßstab

Die Pulsed-Laser-Deposition (PLD, Pulslaser-Beschichtung) stellt eine innovative Beschichtungsmethode dar, welche in den letzten Jahren vermehrt Eingang in die industrielle Beschichtung gefunden hat. Dieser Beitrag beschreibt zunächst das Prinzip, die Geschichte und die Vorteile der PLD in ihrem breiten Anwendungsfeld (Verschleißschutz, Optik, Sensorik, Elektronik, Supraleitung), anschließend werden die Möglichkeiten für industrielle Aufskalierung dieses vor wenigen Jahren noch ausschließlich im Labormaßstab angewendeten PVD-Beschichtungsverfahren (Physical Vapour Deposition) erläutert und eine Reihe von verschiedenen Anlagenkonzepten dargestellt. Anhand der am Laserzentrum Leoben der JOANNEUM RESEARCH Forschungsgesellschaft mbH installierten PLD-Industrieanlage wird die nächste Generation von Beschichtungskonzepten für die Tieftemperaturbeschichtung (Hybridbeschichtung durch Komination von PLD mit zum Teil etablierten PVD- und CVD-Verfahren) präsentiert.