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Vakuumbeschichtung - some like it cold, Teil 2: Raumtemperatur-Beschichtungskonzepte für vielseitige Anwendungen

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Lackner J.M., Waldhauser W.

Galvanotechnik 96 (9), pp. 2208-2216, 2005

Abstract:

Die PVD-Beschichtung (Physical Vapour Deposition) von Bauteilen und Werkzeugen ist eine „heiße" Angelegenheit - immerhin liegen die üblichen Temperaturen dabei meist über 200 – 400 °C. Die lasergestützte PLD-Technik (Pulsed Laser Deposition) kommt mit vergleichsweise „kühlen" 20 – 50 °C aus und eignet sich daher besonders gut für die Beschichtung von temperaturempfindlichen Materialien. Nachdem im ersten Teil dieses Artikels im letzten Heft der Galvanotechnik die industrielle Umsetzung des PLD- und

HybridPLD-Verfahrens erläutert wurde, werden nun Raumtemperatur-Beschichtungskonzepte für Anwendungen in der Optik, Optoelektronik, Sensorik, dem Verschleißschutz, der Kunststoffbeschichtung, im dekorativen Bereich sowie im Bereich biokompatibler Beschichtungen vorgestellt.

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