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Chips-Check mit Ultraschall

Chips-Check mit Ultraschall: Versteckte Fehler in oder auf Chips werden mit den Prüfmethoden der Halbleiterproduktion kaum erkannt. Wir erforschen intelligente Softsensoren zur berührungslosen Qualitätsprüfung von Chips.

Ulrike Kleb
Foto: JOANNEUM RESEARCH/ Schwarzl

 

Versteckte Fehler bei Chips sind eine Herausforderung für die Halbleiterindustrie. Sie können unliebsame Auswirkungen wie Ressourcenverschwendung und hohe Kosten auf weitere Produktionsketten oder Konsumenten haben.

„Das Aufspüren dieser Fehler ist gar nicht so einfach: Optische Sensoren finden nur Anomalien an der Oberfläche, andere Methoden zerstören oft Chips und sind für eine hundertprozentige Prüfung nicht geeignet“, erklärt die Statistikerin Ulrike Kleb von POLICIES, dem Institut für Wirtschafts- und Innovationsforschung der JOANNEUM RESEARCH.

 

Prüfung mittels Laserultraschalltechnologie

Im Rahmen des Projekts LUSI-Q erforscht Ulrike Kleb gemeinsam mit einem Konsortium, bestehend aus der Universität Graz, der Infineon Technologies AG sowie der Montfort Laser GmbH, eine Prüfung mittels berührungsloser In-line-Sensorik – die Laserultraschalltechnologie (LUS). Gefördert wird das Projekt von der FFG im Rahmen des Programms „Produktion der Zukunft“.

„Mit dem Laserultraschall ist es möglich, auch Anomalien und Fehler im Inneren der Chips zu finden und zu analysieren. Wir interpretieren dann die komplexen LUS-Signale mit neuen Methoden der Signalaufbereitung und statistischer Modellierung“, erklärt die Grazer Forscherin.

So könnten in Zukunft Produktionsfehler vermieden und wertvolle Rohstoffe der Halbleiterproduktion eingespart werden.