Mastering / Origination -  Erzeugung von 2.5D Mikrostrukturen in lichtempfindlichen Schichten

Laserlithographie ist eine leistungsfähige Methode zur Herstellung von hochpräzisen 2.5D-Mikrostrukturen mit hervorragender Flexibilität in Bezug auf die Gestaltungsfreiheit der Muster. Maßgeschneiderte Lösungen für refraktive und diffraktive mikrooptische Elemente sowie jede denkbare Oberflächenrelief-Mikroform können hergestellt werden.

Das selbst entwickelte Laser-Lithographiesystem ermöglicht eine Strukturierung von Photolacken sowohl mittels Ein-Photonen- als auch Zwei-Photonen-Absorption. Ein-Photonen-Absorption, hervorgerufen von z.B. blauer cw-Laserstrahlung, führt zu einer Polymerisation des Photolacks im gesamten belichteten Volumen, und klingt in der Tiefe exponentiell ab. Im Gegensatz dazu findet Zwei-Photonen-Absorption, hervorgerufen durch die Hohe Intensität des Licht von kurzen Femtosekunden-Laserpulsen, nur im Bereich des Fokusvolumens statt und ermöglicht damit dreidimensionale Mikrostrukturierung. Nur im Fokusvolumen ist die Intensität der eingestrahlten Laserpulse hoch genug für die gleichzeitige Absorption von zwei Photonen.