Nanoimprint-Lösungen für die großflächige Herstellung von flexiblen Prägestempeln und innovativen Prototypen

MATERIALS setzt einen speziell modifizierten EVG770 Nanoimprint Lithography (NIL) Stepper zur Herstellung flexibler Prägewerkzeuge für rollenbasiertes NIL in den Bereichen Photonik, funktionelle Oberflächen und mikrofluidische Systeme ein. 

Die Nanoimprint-Lithographie ist – verglichen mit anderen lithographischen Verfahren – eine kostengünstige Strukturierungstechnologie und ideal für den Einsatz in hochvolumigen Herstellungsprozessen geeignet. Der mit der Produktion von Arbeitsstempeln für industrietaugliches, rollenbasiertes Prägen verbundene Zeit- und Kostenaufwand ist immer noch signifikant. Die Entwicklung der Step+Repeat-Technologie für großflächige Foliensubstrate macht für MATERIALS den Lückenschluss zwischen kleinformatigen Mastern und großflächigen Arbeitsstempeln möglich.

Dies bringt unter anderem eine signifikant höhere Prozessflexibilität und eine weitere Reduktion der Prozesskosten im Bereich der Nanoimprint-Technologie am Standort. Die Adaptierung der EVG770-Anlage gemeinsam mit EV Group umfasste vor allem eine Erweiterung der Probenaufnahme von Wafer-Geometrien auf großflächige Foliensubstrate.

Unter Verwendung einer auf UV-Prägen basierenden Step+Repeat-Technologie entstehen flexible, polymerbasierte Arbeitsstempel für den Einsatz in Rolle-zu-Rolle-Prägeprozessen. Der Ansatz kombiniert die sehr hohe Positioniergenauigkeit der Halbleitertechnologie mit folienbasierten Hochdurchsatz-Methoden und ermöglicht eine kostengünstige und industrietaugliche Alternative zur direkten Verwendung herkömmlicher zeitaufwendiger Nanostrukturierungsverfahren.

MATERIALS bietet seinen Kunden und Partnern Forschungs-Pilotlinien zur Entwicklung und Implementierung neuer Produktideen und Herstellungsprozesse, von der Idee bis hin zum Prototypen. Die Pilotlinie für rollenbasierte Mikro- und Nanostrukturierung am Institut MATERIALS umfasst Simulation, Design und Materialentwicklung (Beschichtungen, Prägelacke) und bietet großflächige Strukturierung und Struktur-Replikation vom Mastering bis hin zur rollenbasierten Fertigung. Der EVG770 NILStepper komplettiert diese Pilotlinie im Hinblick auf die Herstellung von Arbeitsstempeln für rollenbasierte Prozesse.