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Essenziell
 

Fotolithografie

Bei der Fotolithografie wird mit Hilfe eines Belichtungsprozesses das Bild einer sogenannten Maske auf einen lichtempfindlichen Lack übertragen. Anschließend werden entweder die belichteten Stellen des Fotolacks aufgelöst (positiver Lack) oder die unbelichteten Stellen (negativer Lack).

 

Mit PhotoLitho hergestellte Gold-Strukturen

Mit PhotoLitho hergestellte Gold-Strukturen