Nanoimprint-Lithografie im Batchprozess (UV-NIL und Hot-Embossing)

Nanoimprint-Lithographie bezeichnet die Herstellung mikro- oder nanostrukturierter Oberflächen mittels eines entsprechenden Prägeverfahrens. Mit dieser Technik können entweder thermoplastische Polymermaterialien verarbeitet werden (hot embossing) oder UV-härtende Präpolymere zum Einsatz kommen (UV-NIL).