Reaktives Ionenätzen (RIE) O2/Ar/N2/SF6/CFu

Ein weiteres Verfahren zur Herstellung von topografischen Strukturen für die Mikro- und Nanotechnologie ist das reaktive Ionenätzen (RIE). Es ist ein ionenunterstützter Reaktivätzprozess mit einer guten Kontrollierbarkeit des Ätzverhaltens bezüglich Homogenität, Ätzrate, Ätzprofil und Selektivität.