Materials

Wissenschaftliche Publikation

Vakuumbeschichtung - some like it cold, Teil 1: Industrielles Anlagenkonzept zur Raumtemperatur-Beschichtung

Publikation aus Materials

DI DDr. mont. Jürgen Lackner, DI Dr. mont. Wolfgang Waldhauser

Galvanotechnik 96 (8), pp. 1934-1939, 2005

Abstract:

Die PVD-Beschichtung (Physical Vapour Deposition) von Bauteilen und Werkzeugen ist eine „heiße" Angelegenheit - immerhin liegen die üblichen Temperaturen dabei meist über 200 – 400 °C. Die lasergestützte PLD-Technik (Pulsed Laser Deposition) kommt mit vergleichsweise „kühlen" 20 – 50 °C aus und eignet sich daher besonders gut für die Beschichtung von temperaturempfindlichen Materialien. Die Grundprinzipien, die industrielle Aufskalierung sowie der Hauptvorteil der PLD – die hohe Schichthaftung – werden in diesem ersten Teil eines zweiteiligen Artikels behandelt.

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