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Projekte -  
Materials

OPTIMAL

Projektlaufzeit gesamt:

3 Jahre

Automated Maskless Laser Lithography Platform for First Time Right Mixed Scale Patterning

Das Projekt

Im Rahmen des OPTIMAL-Projekts werden zum ersten Mal verschiedene Laserlithografie-Technologien, Qualitätsüberwachungssysteme und -prozesse in einer Plattform integriert, um die Herstellung von Originalstrukturen, so genannten Mastern, zu verbessern, die für Schlüsselreplikationstechniken in der optischen, industriellen und medizinischen Geräteherstellung benötigt werden.

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Projektbeteiligte

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