Vakuum- und Plasmabeschichtungsverfahren

Unser Angebot umfasst die Entwicklung, Charakterisierung und Herstellung von funktionellen Schichten unter Atmosphärendruck (~1013 hPa (mbar)), im Niederdruck-Feinvakuum (~0.1 Pa) und Hochvakuum (~10-5 Pa) und reicht ausgehend von Problemanalysen, Literaturrecherchen und Machbarkeitsstudien bis zur Prototypenfertigung und Kleinserienbeschichtung.

Wofür ist eine Atmosphärendruck-Plasma-Beschichtungsanlage? 

Atmosphärendruck-Plasma-Beschichtungstechnologien (ADPB) kommen ohne Vakuumkammer aus und unterliegen damit kaum Größenbeschränkungen hinsichtlich der zu beschichtenden Bauteile. Anwendungsmöglichkeiten sind die Aktivierung von Polymeroberflächen durch Sauerstoff oder Inertgas sowie die Abscheidung von reinen oder Partikel-dotierten z.T. (Nano-)Partikeln dotierten Metall-, Oxid- und Polymerbeschichtungen als Verschleißschutz-, Korrosionsschutz- und Barriereschichten oder auch als biokompatible, antibakterielle oder biofunktionelle Schichten sowie als elektrische Isolationsschichten oder Leiterbahnen und Elektroden. 

Was passiert in einer Niederdruckplasmaanlage?

Das Niederdruckplasma bietet sehr vielseitige Möglichkeiten der Oberflächenmodifikation, z. B. Feinreinigung von verschmutzten Bauteilen, Plasmaaktivierung von Kunststoffteilen, Ätzung von PTFE oder Silizium und die Beschichtung von Kunststoff- und Metallteilen mit PTFE-ähnlichen Schichten (siehe Praxisbeispiel HMDSO Anti-Haftschicht auf strukturierter Nickel-Abformung). 

Was sind die Vorteile einer Magnetron-Kathodenzerstäubung? 

Vorteile dieser Technologie sind porenfreie, hochreine Schichten, die z. B. korrosionsmindernd oder reibungsreduzierend sind, die Abscheidung von Isolatoren (z. B. Aluminiumoxid oder Bornitrid) und Halbleitern, ein geringes Aufheizen des Substrats und relativ hohe Abscheideraten bis zu 10er Nanometer pro Minute.

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