Graustufenlithographie

Messungen und Analysen von kleinsten Strukturen, Schichten und Bauelementen im Mikro- und Nanomaßstab auf flexiblen Substraten.

We use a specially modified EVG770 Nanoimprint Lithography (NIL) stepper for the large-scale production of micro- and nanostructures in UV imprint resins. Together with special materials and processes, we achieve the highest precision right down to practically seamless transitions between individual structures.

Zertifizierter Reinraum der Klasse 6 für Nanostrukturen und neuartige elektronische Bauelemente und Sensoren

Microassembly Lab for photonic and electronic assemblies

Das Labor umfasst flexible, schnelle Prototyping-Verfahren zur Herstellung einer Vielzahl von Strukturen in einer breiten Palette von Materialien.

Wir bieten Lasermaterialbearbeitung und langjährige Expertise in Werkstoffkunde.

Modernste Entwicklungsinfrastruktur für ganzheitliches elektronisches und optisches Design inkl. EMV und ESD – offen für Industriepartner.

Unsere Rolle-zu-Rolle Nanoimprint-Lithografie ermöglicht eine kontinuierliche und daher kostengünstige Herstellung von Mikro- und Nanostrukturen auf großflächigen Foliensubstraten für Anwendungen in Hochtechnologiebereichen wie Elektronik, Optoelektronik, Photovoltaik, Sensorik, Mikrofluidik, Folienveredelung und Verpackung, sowie Pharmazeutik und Biowissenschaften.

Aktuellste Infrastruktur zur Lichtmessung und Prototypenfertigung für ganzheitliches optisches und elektronisches Design – offen für Industriepartner.

Unser Labor umfasst Technologien für funktionelle Plasmabeschichtung bei niedrigen Temperaturen von Atmosphärendruck bis Fein- und Hochvakuum.

Drucktechnologien für die Entwicklung von kundenspezifischen 2D-, 2,5D- und 3D-Druckprozessen