Ultrakurzpuls-Laserlabor

Unser Labor umfasst verschiedene Laser-Systeme mit unterschiedlichen Spezifikationen: Ultrakurzpuls-Laser mit einstellbaren Pulsdauern im Bereich von 210 fs – 9 ps und variabler Puls-Wiederholungsrate. Sie bieten fortschrittliche Funktionen und Flexibilität für verschiedene Forschungsanwendungen im Bereich der Laser-Mikrobearbeitung und Femtosekunden-Laser-Lithographie. 

SPIRIT HE 30-SHG Laser (Spectra Physics) 

• durchschnittliche Leistung von 30 W
• Pulsenergien bis zu 120 μJ. 
• Ausgangswellenlängen von 1040 nm und 520 nm

CARBIDE Light Conversion Laser 

• durchschnittlichen Leistung von 20 W
• Ausgangswellenlängen von 1030 nm, 514 nm und 343 nm

Edge Wave PX-200 Laser (Pikosekunden-Laser)

• maximale Leistung von 100 W
• emittiert Laserlicht mit Wellenlänge von 1064/532 nm und einer Pulsdauer von 10 ps
• Eignet sich für Anwendungen, bei denen höhere Leistung benötigt wird, jedoch eine etwas längere Pulsdauer akzeptabel ist.

Die Laser sind mit fortschrittlichen Positionierungssystemen und Scanlösungen kombiniert. Zur Verfügung stehen Ultra-Präzisions-Linearmotor-Achsen von Newport und Aerotech, die eine präzise Positionierung bei Scan-Geschwindigkeiten bis maximal 300 mm/s, auf Arbeitsfeldern mit einer maximalen Größe von 215 mm x 215 mm erlauben. Des Weiteren verfügen wir über mehrere Galvo-Scanner von Scanlab, die schnelle und präzise Scanbewegungen, mit Scan-Geschwindigkeiten von maximal 30 m/s, ermöglichen. Der SCANLAB XL Scan ermöglicht die synchronisierte Steuerung eines 2D-Scan-Kopfes und zweier mechanischer Achsen. Dieses System bietet höchste Präzision für die Mikrobearbeitung großer Oberflächen. Es bietet eine nahezu unbegrenzte Arbeitsfläche und minimiert Fehler durch Naht- bzw. Anschlussstellen zwischen den einzelnen Scanfeldern.

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