We use a specially modified EVG770 Nanoimprint Lithography (NIL) stepper for the large-scale production of micro- and nanostructures in UV imprint resins. Together with special materials and processes, we achieve the highest precision right down to practically seamless transitions between individual structures.
Step and Repeat-Anlage, Foto: JOANNEUM RESEARCH, Robert Stadler
Features
Our offer
We offer our customers and partners research pilot lines for the development and implementation of new product ideas and manufacturing processes, from the idea to the prototype. The pilot line for roll-based micro- and nanostructuring at the MATERIALS Institute includes simulation, design and material development (coatings, imprint resins) and offers large-area structuring and structure replication from mastering to high-throughput production. The EVG770 NILStepper completes this pilot line with regard to the production of flexible working stamps for roller-based processes.
Find out more about our services in the area of Step and Repeat UV-nanoimprint lithography.
Messungen und Analysen von kleinsten Strukturen, Schichten und Bauelementen im Mikro- und Nanomaßstab auf flexiblen Substraten.
Zertifizierter Reinraum der Klasse 6 für Nanostrukturen und neuartige elektronische Bauelemente und Sensoren
Microassembly Lab for photonic and electronic assemblies
Die hochpräzise maskenlose Laseranlage (MALA) ist für die Herstellung von hochkomplexen und stufenlosen Mikrooptik-Strukturen geeignet.
Das Labor umfasst flexible, schnelle Prototyping-Verfahren zur Herstellung einer Vielzahl von Strukturen in einer breiten Palette von Materialien.
Wir bieten Lasermaterialbearbeitung und langjährige Expertise in Werkstoffkunde.
Modernste Entwicklungsinfrastruktur für ganzheitliches elektronisches und optisches Design inkl. EMV und ESD – offen für Industriepartner.
Unsere Rolle-zu-Rolle Nanoimprint-Lithografie ermöglicht eine kontinuierliche und daher kostengünstige Herstellung von Mikro- und Nanostrukturen auf großflächigen Foliensubstraten für Anwendungen in Hochtechnologiebereichen wie Elektronik, Optoelektronik, Photovoltaik, Sensorik, Mikrofluidik, Folienveredelung und Verpackung, sowie Pharmazeutik und Biowissenschaften.
Aktuellste Infrastruktur zur Lichtmessung und Prototypenfertigung für ganzheitliches optisches und elektronisches Design – offen für Industriepartner.
Unser Labor umfasst Technologien für funktionelle Plasmabeschichtung bei niedrigen Temperaturen von Atmosphärendruck bis Fein- und Hochvakuum.
Drucktechnologien für die Entwicklung von kundenspezifischen 2D-, 2,5D- und 3D-Druckprozessen
JOANNEUM RESEARCH provides innovation and technology services in the field of applied research. As a research company working on behalf of various federal provinces and regions in Austria, our expertise shapes the development of our modern society and economy – sustainably, and always with a focus on people. As a multidisciplinary team working in a flexible set-up that fosters innovation, we always live up to the highest social and scientific standards.