Publikationen
Materials
Pulsed laser deposition: A new technique for depostion of amorphous SiOx thin films
Beteiligte Autor*innen der JOANNEUM RESEARCH:
Autor*innen:
Lackner, Juergen M; Waldhauser, W.; Ebner, R.; Lenz, W.; Suess, C.; Jakopic, G.; Leising, Guenther; Hutter, H.
Titel:
Pulsed laser deposition: A new technique for depostion of amorphous SiOx thin films
Seiten:
300–305
Publikationsdatum
2003-01
Publikationsreihe
Nummer
s 163–164
Proceedings
Surface and Coatings Technology
Weitere Dateien und links
Jahr/Monat:
2003
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