Publikationen
Materials
Heterogeneous Integration of Metal Oxides—Towards a CMOS Based Multi Gas Sensor Device
Beteiligte Autor*innen der JOANNEUM RESEARCH:
Autor*innen:
Köck, Anton; Deluca, Marco; Sosada-Ludwikowska, Florentyna; Maier, Günther; Teubenbacher, Robert Wimmer; Sagmeister, Martin; Rohracher, Karl; Wachmann, Ewald; Niehaus, Jan Steffen; Becker, Sören; Tokmak, Öznur; Schlicke, Hendrik; Blümel, Alexander; Popovic, Karl; Tscherner, Martin
Abstract:
A worldwide unique CMOS based chemical sensor device comprising an array of 8 microhotplates (µhps) for a total of 16 chemical sensors has been fabricated (Figure 1). [...]
Titel:
Heterogeneous Integration of Metal Oxides—Towards a CMOS Based Multi Gas Sensor Device
Seiten:
5
Publikationsdatum
2019-06
Publikationsreihe
Nummer
14
Beitrag
1
ISSN
2504-3900
Proceedings
Proceedings
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Jahr/Monat:
2019
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