
Credit JOANNEUM RESEARCH / Manuela Schwarzl
Reinraum der Klasse 6 für Nanostrukturen, sowie neuartige elektronische Bauelemente und Sensoren - zertifiziert gemäß ISO 14644
Kurzbeschreibung
Reinheitsgrad: max. 35.200 Partikel pro Kubikmeter, Größe ≥ 0,5 µm und max. 8.320 Partikel, Größe ≥ 1 µm pro Kubikmeter und max. 293 Partikel ≥ 5 µm
- Luftwechsel Primärluft: 12faches Raumvolumen / h
- Luftumwälzung über FFUs: 40 – 60faches Raumvolumen / h
- Temperatur: Der Sollwert für die Raumtemperatur kann benutzerspezifisch eingestellt werden. Die derzeitige Vorgabe liegt bei 22°C und ist im Bereich von +/- 1°C zu halten.
- Relative Luftfeuchte: Die Vorgaben sind ebenfalls benutzerspezifisch. Der Sollwert liegt derzeit bei 40% Relative Luftfeuchte und ist regelungstechnisch mit einer Abweichung von +/- 5% realisierbar.
Research Services
Mikro-Nanostrukturen, Mastering, Analytik, Machbarkeitsstudien, Mikroelektronik Versuchsreihen bis 6 Zoll
Methoden, Expertise und Forschungsinfrastruktur
Modernste Ausstattung und Forschungsinfrastruktur kombiniert mit der Expertise von hoch qualifizierten wissenschaftlichen Mitarbeiterinnen und Mitarbeiter ermöglichen zukunftsweisende Forschungsarbeiten, Problemlösungen und wissenschaftliche Dienstleistungen, die auf die Anforderungen der Wirtschaft und Industrie abgestimmt sind. Beispielsweise werden folgende Methoden angeboten:
- Nanoimprint-Lithografie im Batchprozess (bis 4 x 4 inch²) unter Reinraumbedingungen (UV-NIL und Hot-Embossing NIL)
- Oberflächenmorphologie mittels Rasterelektronenmikrospkopie (SEM)
- Elektronenstrahl-Lithografie
- Foto-Lithografie
- Reaktives Ionenätzen (RIE) O2/Ar/N2/SF6/CFu
- Oberflächenmodifikation mittel O2/N2/NH3 -Plasma, UV
- Modulare Pilotanlage inkl. Glovebox-Cluster