Infrastruktur

Credit JOANNEUM RESEARCH / Manuela Schwarzl

Reinraum der Klasse 6 für Nanostrukturen, sowie neuartige elektronische Bauelemente und Sensoren - zertifiziert gemäß ISO 14644

 

Kurzbeschreibung

Reinheitsgrad: max. 35.200 Partikel pro Kubikmeter, Größe ≥ 0,5 µm und max. 8.320 Partikel, Größe ≥ 1 µm pro Kubikmeter und max. 293 Partikel ≥ 5 µm

  • Luftwechsel Primärluft: 12faches Raumvolumen / h
  • Luftumwälzung über FFUs: 40 – 60faches Raumvolumen / h
  • Temperatur: Der Sollwert für die Raumtemperatur kann benutzerspezifisch eingestellt werden. Die derzeitige Vorgabe liegt bei 22°C und ist im Bereich von +/- 1°C zu halten. 
  • Relative Luftfeuchte: Die Vorgaben sind ebenfalls benutzerspezifisch. Der Sollwert liegt derzeit bei 40% Relative Luftfeuchte und ist regelungstechnisch mit einer Abweichung von +/- 5% realisierbar.

Research Services

Mikro-Nanostrukturen, Mastering, Analytik, Machbarkeitsstudien, Mikroelektronik Versuchsreihen bis 6 Zoll

Methoden, Expertise und Forschungsinfrastruktur

Modernste Ausstattung und Forschungsinfrastruktur kombiniert mit der Expertise von hoch qualifizierten wissenschaftlichen Mitarbeiterinnen und Mitarbeiter ermöglichen zukunftsweisende Forschungsarbeiten, Problemlösungen und wissenschaftliche Dienstleistungen, die auf die Anforderungen der Wirtschaft und Industrie abgestimmt sind. Beispielsweise werden folgende Methoden angeboten:

Reinraum Rundgang