Infrastruktur

Credit JOANNEUM RESEARCH / Manuela Schwarzl

Reinraum der Klasse 6 für Nanostrukturen, sowie neuartige elektronische Bauelemente und Sensoren - zertifiziert gemäß ISO 14644

 

Kurzbeschreibung

Reinheitsgrad: max. 35.200 Partikel pro Kubikmeter, Größe ≥ 0,5 µm und max. 8.320 Partikel, Größe ≥ 1 µm pro Kubikmeter und max. 293 Partikel ≥ 5 µm

  • Luftwechsel Primärluft: 12faches Raumvolumen / h
  • Luftumwälzung über FFUs: 40 – 60faches Raumvolumen / h
  • Temperatur Winter/Sommer: 21/24 ± 2 °C
  • Relative Luftfeuchte 45 ± 10 %

 

Research Services

Mikro-Nanostrukturen, Mastering, Analytik, Machbarkeitsstudien, Mikroelektronik Versuchsreihen bis 6 Zoll

 

Methoden, Expertise und Forschungsinfrastruktur

Modernste Ausstattung und Forschungsinfrastruktur kombiniert mit der Expertise von hoch qualifizierten wissenschaftlichen Mitarbeiterinnen und Mitarbeiter ermöglichen zukunftsweisende Forschungsarbeiten, Problemlösungen und wissenschaftliche Dienstleistungen, die auf die Anforderungen der Wirtschaft und Industrie abgestimmt sind. Beispielsweise werden folgende Methoden angeboten:

  • Nanoimprint-Lithografie im Batchprozess (bis 4 x 4 inch²) unter Reinraumbedingungen (UV-NIL und Hot-Embossing NIL)
  • Elektronenstrahl-Lithografie
  • Photo-Lithografie
  • Reaktives Ionenätzen (RIE) O2/Ar/N2/SF6/CFu
  • Oberflächenmodifikation mittel O2/N2/NH3 -Plasma, UV
  • Modulare Pilotanlage inkl. Glovebox-Cluster
  • Oberflächenmorphologie mittels Rasterelektronenmikrospkopie (SEM)