2D- und 3D-Strukturierung mit Laser- und Elektronenstrahllithografie
Hochauflösende 3D-Strukturierung mittels Zwei-Photonen-Lithografie sowie stufenlose 2.5D-Strukturierung mittels maskenloser Graustufen-Laserlithografie oder Laserablation und Elektronenstrahllithografie
Laserlithografie zur Herstellung von Mikro- und Nanostrukturen © JOANNEUM RESEARCH
Wir verfügen über einzigartige Technologien zur hochauflösenden 3D-Strukturierung mittels Zwei-Photonen-Lithografie, stufenlosen 2.5D-Strukturierung mittels maskenloser Graustufen-Laserlithografie oder Laserablation und 2D-Nanostrukturierung mit Elektronenstrahllithografie. Damit gefertigte Prägewerkzeuge bilden eine wichtige Basis unseres UV-NIL-Verfahrens.
Unsere Beteiligten Partner & Fördergeber
Das sagen unsere Kunden
Weitere Produkte und Services
Umwelt-, bioanalytische und diagnostische Sensorik kombiniert mit smarten mikrofluidischen Lab-on-a-Chip und Organ-on-a-Chip-Systemen
Kostengünstige Lösungen über eine Funktionserweiterung klassischer LED-basierter Beleuchtungssysteme im Bereich Visible Light Communication, des Visible Light Positioning, und des Visible Light Sensing
R2R-UV-NIL Pilotlinie zur kontinuierlichen und kostengünstigen Herstellung von Mikro- und Nanostrukturen auf flexiblen großflächigen Foliensubstraten
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Kompakte Lösungen für die Zukunft der Quanten- und optischen Technologien
Druckbare Sensortinten und Sensoren mit piezo-, pyro- und magneto-elektrischen Eigenschaften
Additive Fertigung durch neu verfügbare Konstruktions- und Simulationswerkzeuge sowie durch neue Materialien und Realisierung spezieller Gitterstrukturen
Ultrakurze Laserpulse zur direkten Erzeugung von dreidimensionalen Mikrostrukturen in einer Vielzahl unterschiedlicher Materialien
Funktionelle Beschichtungsverfahren: Plasma- und Vakuumbeschichtung (PVD, PA-CVD), Atmosphärendruck-Plasmajetverfahren sowie auch digitale Druckverfahren
Laserschweißen, Laserlegieren und Laserauftragsschweißen, mit besonderem Schwerpunkt auf Werkstoffkompetenz
Entwicklung kundenspezifischer Prototypen, speziell in den Bereichen LED-Beleuchtung und Sensorik: Schaltungsdesign, Konzeption des Systems bis hin zum Prototyping
Skalierbare und digitale Druckverfahren (inkl. 3D-Druck von Elektronik) zur Generativen Fertigung funktionaler Komponenten