2D- und 3D-Strukturierung mit Laser- und Elektronenstrahllithografie
Hochauflösende 3D-Strukturierung mittels Zwei-Photonen-Lithografie sowie stufenlose 2.5D-Strukturierung mittels maskenloser Graustufen-Laserlithografie oder Laserablation und Elektronenstrahllithografie
Laserlithografie zur Herstellung von Mikro- und Nanostrukturen © JOANNEUM RESEARCH
Wir verfügen über einzigartige Technologien zur hochauflösenden 3D-Strukturierung mittels Zwei-Photonen-Lithografie, stufenlosen 2.5D-Strukturierung mittels maskenloser Graustufen-Laserlithografie oder Laserablation und 2D-Nanostrukturierung mit Elektronenstrahllithografie. Damit gefertigte Prägewerkzeuge bilden eine wichtige Basis unseres UV-NIL-Verfahrens.
Unsere Beteiligten Partner & Fördergeber
Das sagen unsere Kunden
Weitere Produkte und Services
Funktionelle Beschichtungsverfahren: Plasma- und Vakuumbeschichtung (PVD, PA-CVD), Atmosphärendruck-Plasmajetverfahren sowie auch digitale Druckverfahren
R2R-UV-NIL Pilotlinie zur kontinuierlichen und kostengünstigen Herstellung von Mikro- und Nanostrukturen auf flexiblen großflächigen Foliensubstraten
Replikation von Master-Strukturen nahezu nahtlos auf großer Fläche (bis zu 380 x 700 mm²) mittels Step&Repeat UV-NIL-Prozess
Wiederverwendbare Materialien, Komponenten bzw. Verbundstoffe und deren Anwendungen, wie z.B. selbst entwickelte Lacke für die UV-Imprint-Lithografie (NILcure)
Druckbare Sensortinten und Sensoren mit piezo-, pyro- und magneto-elektrischen Eigenschaften
Umwelt-, bioanalytische und diagnostische Sensorik kombiniert mit smarten mikrofluidischen Lab-on-a-Chip und Organ-on-a-Chip-Systemen
Herstellung, Analyse- und Bewertung von PVD-Beschichtungen
Kostengünstige Lösungen über eine Funktionserweiterung klassischer LED-basierter Beleuchtungssysteme im Bereich Visible Light Communication, des Visible Light Positioning, und des Visible Light Sensing
Innovative, kovalent gebundene pH-Indikatorfarbstoffe für smarte Materialien – sichtbar im Farbwechsel, langlebig und vielseitig einsetzbar.
Additive Fertigung durch neu verfügbare Konstruktions- und Simulationswerkzeuge sowie durch neue Materialien und Realisierung spezieller Gitterstrukturen
Ultrakurze Laserpulse zur direkten Erzeugung von dreidimensionalen Mikrostrukturen in einer Vielzahl unterschiedlicher Materialien
Laserschweißen, Laserlegieren und Laserauftragsschweißen, mit besonderem Schwerpunkt auf Werkstoffkompetenz
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Wir prüfen Machbarkeit, mögliche Prozesswege und nächste Schritte.