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Essenziell
 

Reaktives Ionenätzen (RIE) O2/Ar/N2/SF6/CFu

Ein weiteres Verfahren zur Herstellung von topografischen Strukturen für die Mikro- und Nanotechnologie ist das reaktive Ionenätzen (RIE). Es ist ein ionenunterstützter Reaktivätzprozess mit einer guten Kontrollierbarkeit des Ätzverhaltens bezüglich Homogenität, Ätzrate, Ätzprofil und Selektivität.

 

Geätzte Pyramiden  (REM-Aufnahme)

Geätzte Pyramiden (REM-Aufnahme)